Ученые ФИАН модернизировали электронный нанолитограф для производства отечественной рентгеновской оптики

Специалисты Физического института им. П.Н. Лебедева РАН (ФИАН) представили уникальную установку для создания компонентов рентгеновской и дифракционной оптики, разработанную на базе советского электронного нанолитографа ZBA. Проект реализован в рамках государственно-частной лаборатории Троицкого подразделения ФИАН.

Модернизация легендарной установки

На базе нанолитографа ZBA (1980–1990 гг.), использовавшегося в СССР и странах СЭВ для производства электроники, создан современный комплекс. Устаревшие узлы не просто восстановлены, а переработаны с применением новейших технологий.

Установка позволяет изготавливать дифракционные решетки скользящего падения с переменным периодом – критически важные для рентгеновской оптики, а также элементы для спектрометров, фазовые решетки для микроскопии и систем машинного зрения.

Высокая точность и масштаб

Технологический стандарт – до 200 нм и менее. Реализована печать на пластинах размером 150×150 мм, что расширяет сферы применения.

По словам руководителя Троицкого подразделения ФИАН, члена-корреспондента РАН Андрея Наумова, разработка уже интегрирована в научные проекты. Изготовленные компоненты востребованы в следующих областях:

• голографии и системах дополненной реальности;
• оптических пинцетах и высокоточных микроскопах;
• интегральной оптике и производстве масок для фотолитографии.

«Дифракционные элементы создают световые поля, недостижимые для традиционной оптики. Это не устаревшие технологии, а отдельный сегмент для прорывных решений», – подчеркнул Наумов.

Проект восстанавливает потенциал отечественной нанолитографии, утраченный после распада СССР, и обеспечивает независимость в производстве критически важных оптических компонентов. Разработка поддерживает развитие квантовых технологий, биомедицины и искусственного интеллекта – ключевых направлений, обсуждаемых на международных форумах, включая Неделю науки БРИКС+ в Рио-де-Жанейро.

Источник: ТАСС